Structar sensor piezoresisticive

Anns a 'ghealladh seo, tha an stiall revistor air aonachadh air a' phròiseas aonaichte Dìomhaire Silicon, agus tha iomall a 'chip seo air a phacaigeadh air an gearradh gu socair san t-slige, agus tha an t-snaidheadh ​​a' stiùireadh a-mach. Tha Sensor cuideam Piezoroesistic, ris an canar cuideachd Sensor Mantes-Stàite, a dh 'fheumas a bhith a' faireachdainn gu daingeann tro eileamaidean làidir elastag tro dhiaphragm silicon.

Tha aon taobh den diaphragm silicon a 'conaltradh le cuideam àrd-chuid leis an cuideam tomhaiste, agus tha an taobh eile na chonaltradh le cuideam ìosal leis an àile. San fharsaingeachd, tha am diaphragm silicon air a dhealbhadh mar chearcall le buachdairean stèidhichte, agus tha an dithis eile co-chothromach a thaobh meadhan an diaphragm.

A bharrachd air an sin, tha dàil ann cuideachd seòrsair Silicon Silicon agus Columan Colbh Silico. Tha an sensor siolandair s siolandair cuideachd air a dhèanamh le stiallan làidir le dàil de phlèana criostail den t-siolandair silicon agus dà stiallan cruaidh deimh-chèile a 'dèanamh drochaid làn.

Tha sensor piezoresististeach na inneal air a dhèanamh le neo-dhealachadh a rèir stuth semiconder a rèir buaidh piezoresisticive stuth semicondurctor. Faodar an substrate aige a chleachdadh gu dìreach mar sheansair a tha a 'tomhas, agus tha an àireamhrachadh sgaoilte ceangailte ris an fhiosta ann an cruth drochaid.

Nuair a bhios an sub-starra deformed le feachd taobh a-muigh, atharraichidh luachan an aghaidh an aghaidh agus bheir na drochaid toradh mì-chothromach. Tha na stiùidio (no diaphragms) air an cleachdadh mar mhothachadh piezoresisticing sa mhòr-chuid leacan silicon agus caisneisium. Tha sligean piezoesisticive silicon air an dèanamh le sileon silicon mar stuthan mothachail air barrachd agus barrachd aire a tharraing, gu sònraichte na mothachairean agus astar a tha air a chleachdadh as fharsainge.