Bidh an t-sensor cuideam cliùitiche a tha cumanta a 'cleachdadh n-seòrsa silicon mar an neach-silidh. An toiseach, tha an waer silicon air a dhèanamh a-steach do phàirt le cuideam mòr le cuideam mòr le geoimeatraidh sònraichte. Aig a 'phàirt a tha a' giùlan cuideam den Wafer silicon, tha ceithir luchd-teasairginn eadar-dhealaichte de sheòrsa P-seòrsa P-seòrsa PS air an dèanamh air diofar stiùiridhean criostail, agus an uairsin thèid drochaid a 'ghearas a chruthachadh leis na ceithir luchd-teasachaidh sin. Fo gnìomh feachd bhon taobh a-muigh, bidh na h-atharrachaidhean de luachan an aghaidh a-muigh a 'tighinn gu comharran dealain. Is e buaidh cliùis a 'chlach-ghaisgeach seo cridhe an t-sensor cuideam, ris an canar drochaid Cigezooresisticeach (mar a chithear ann am Figear 1). Tha feartan drochaid piezoresistic mar a leanas: ① Tha luachan streamhaid nan ceithir gàirdeanan na drochaid co-ionnan (uile r0); ② Tha buaidh piezooresisticitive de ghàirdeanan faisg air an drochaid co-ionann ann an luach agus mu choinneamh a tha ann an soidhne; ③ Tha co-èifeachd teòthachd teòthachd an aghaidh air ceithir gàirdeanan na drochaid an aon rud, agus tha iad an-còmhnaidh aig an aon teothachd. Ann am Fig. 1, tha R0 an luach an aghaidh an aghaidh gun cuideam aig teòthachd an t-seòmair; Is e RT an t-atharrachadh a dh 'adhbhraicheas an teòthachd an aghaidh an aghaidh (α) nuair a dh' atharraicheas an teòthachd; Υ RΔ an atharrachadh a chuir an aghaidh le strain (ε); Is e U = I0 δ rΔ = I0rgΔ = I0rgδ (drochaid-fiosrachaidh seasmhach).

Far a bheil I0 an seasmhach gnàth-thìreach gnàthach agus tha e an aghaidh bholtachd stòr stòr. Tha bholtadh toraidh air an drochaid piezoresististic co-rèir a 'chuid (ε) agus chan eil dad aige ri dhèanamh le co-èifeachd teòthachd an aghaidh Sensor. Tha an sensor cuideam cliù as fharsainge air a chleachdadh gu ìre mhòr na rùn airson a bhith a 'lorg cuideam siùbhlach. Is e capsal a th 'ann am prìomh structar a chaidh a dhèanamh de silicoson monocrrystalline (mar a chithear ann am Figear 2). Tha an diaphragm air a dhèanamh na chupa, agus is e bonn a 'chupa a' phàirt a tha nam pàirt a tha a 'giùlan na feachd bhon taobh a-muigh, agus tha an drochaid fiosrachaidh air a dhèanamh aig bonn a' chupa. Tha am pedesteal fàinne air a dhèanamh den aon stuth criostalach singilte silicon, agus an uairsin tha an diaphragm air a cheangal ris a 'pheinnsean. Tha buannachdan ro-mheasaidh cuideam, meud beag agus daingeann, agus chaidh a chleachdadh gu farsaing ann an àiteachan, seòladh fànais agus ionnstramaidean meidigeach.