Sensor cuideam einnsean 2cp3-68 1946725 airson cladhadair carter

Modh airson sensor cuideam a pheartachadh, air a chomharrachadh le bhith a 'toirt a-steach na ceumannan a leanas:

S1, a 'toirt seachad wafer le uachdar cùil agus uachdar aghaidh; A 'cruthachadh stiall piezooresisticive agus àite conaltraidh le dochann mòr air uachdar aghaidh an wafer; A 'cruthachadh cuideam domhainn le bhith a' seargadh uachdar cùil an wafer;

S2, a 'ceangal duilleag taic air cùl an Wafer;

S3, a 'saothrachadh tuill agus uèirichean meatailt air taobh aghaidh an Wafer, agus a' ceangal stiallan piezoresistive gus drochaid cuibhlichean a chruthachadh;

S4, a 'tasgadh agus a' cruthachadh còmhdach troimhe air uachdar aghaidh an Wafer, agus a 'fosgladh pàirt den t-sreath fharsaing gus àite pad meatailt a chruthachadh. 2. Modh saothrachaidh den t-sensor cuideam a rèir Tagradh 1, Far a bheil na ceumannan a leanas a 'toirt a-steach tiugh fiogair cuideam air an Wafer; S12: Tha implantation Rìoghail air a chleachdadh air uachdar aghaidh an Wafer, stiallan piezooresistive air an dèanamh le pròiseas eadar-dhealaichte àrd-theaga ris, agus tha roinnean conaltraidh air an dochann; S13: A 'tasgadh agus a' cruthachadh còmhdach dìon air uachdar aghaidh an wafer; S14: searbhagadh agus a 'cruthachadh cuideam domhainn air cùl a' Chabhalair gus film mothachail a chruthachadh. 3. Modh saothrachaidh den t-sensor cuideam a rèir tagradh 1, far a bheil an wafer soi.

Ann an 1962, Tufte et al. Dèan measadh air sensor cuideam piezouresistic le stiallan cliù silicosistive silicon agus structar silicon airson a 'chiad uair, agus thòisich iad air an rannsachadh air sensor cuideam piezooresistic. Aig deireadh nan 1960an agus toiseach na 1970an, thug coltas trì teicneòlasan, is iad sin, teicneòlas silicon agus teicneòlas còmhnaidh silcranta, a bha cudromach ann a bhith a 'leasachadh coileanadh an t-sensor cuideam. Bho 1980an, le tuilleadh leasachaidh air teicneòlas meanbh-bheachdachadh, mar leudachadh Anisotropic, tha an impsition agus còmhdach, agus tha an toradh àrd agus tha an coileanadh fìor mhath. Aig an aon àm, bidh leasachadh teicneòlas micromaigeach ùr a 'cumail smachd air mothachadh gu ceart.