Co-cheangailte ri sensor cuideam rèile cumanta connadh Passat 06E906051K

1. Dòigh airson sensor cuideam a chruthachadh, anns a bheil:

A ’toirt seachad substrate semiconductor, anns a bheil a’ chiad còmhdach dielectric eadar-fhilleadh, a ’chiad còmhdach dielectric eadar-fhilleadh agus an dàrna sreath dielectric eadar-fhilleadh air an cruthachadh air an t-substrate semiconductor.

Plàta electrode nas ìsle anns a ’chiad ìre dielectric eadar-fhilleadh, a’ chiad dealan-dealanach suidhichte air an aon shreath ris a ’phlàta electrode ìosal agus air a sgaradh bho chèile.

A 'ceangal sreathan;

A 'cruthachadh còmhdach ìobairt os cionn a' phlàta pòlach ìseal;

A ’cruthachadh plàta electrode àrd air a’ chiad ìre dielectric eadar-fhilleadh, a ’chiad ìre eadar-cheangail agus an còmhdach ìobairteach;

An dèidh a bhith a 'cruthachadh an t-sreath ìobairteach agus mus tèid a' phlàta àrd a chruthachadh, anns a 'chiad sreath eadar-cheangail

A ’cruthachadh groove ceangail, agus a’ lìonadh an groove ceangail leis a ’phlàta àrd gus ceangal gu dealanach leis a’ chiad ìre eadar-cheangail; Air neo,

Às deidh a ’phlàta electrode àrd a chruthachadh, thathas a’ cruthachadh claisean ceangail anns a ’phlàta electrode àrd agus a’ chiad ìre eadar-cheangail, a tha

A ’cruthachadh còmhdach giùlain a’ ceangal a ’phlàta electrode àrd agus a’ chiad ìre eadar-cheangail anns an groove ceangail;

Às deidh a bhith a ’ceangal a’ phlàta àrd gu dealanach agus a ’chiad ìre eadar-cheangail, thoir air falbh an còmhdach ìobairteach gus cuas a chruthachadh.

2. An dòigh airson sensor cuideam a chruthachadh a rèir tagradh 1, anns a bheil anns a 'chiad shreath

Tha an dòigh airson an còmhdach ìobairteach a chruthachadh air an còmhdach dielectric interlayer a ’toirt a-steach na ceumannan a leanas:

A ’tasgadh còmhdach stuth ìobairteach air a’ chiad ìre dielectric eadar-fhilleadh;

Pàtran còmhdach stuth ìobairteach gus còmhdach ìobairteach a chruthachadh.

3. An dòigh airson an sensor cuideam a chruthachadh a rèir tagradh 2, far a bheilear a' cleachdadh photolithography agus gràbhaladh.

Tha an còmhdach stuth ìobairteach air a phàtranachadh le pròiseas eitseil.

4. An dòigh airson sensor cuideam a chruthachadh a rèir tagradh 3, anns a bheil an ìre ìobairteach

Tha an stuth amorphous carbon no germanium.

5. An dòigh airson sensor cuideam a chruthachadh a rèir tagradh 4, anns a bheil an ìre ìobairteach

Tha an stuth amorphous carbon;

Am measg nan gasaichean sgudail a thathar a’ cleachdadh ann a bhith a’ seargadh an stuth ìobairteach tha O2, CO, N2 agus Ar;

Is iad na paramadairean ann a bhith a’ seargadh an stuth ìobairteach còmhdach: is e an raon sruthadh O2 18 SCCM ~ 22 SCCM, agus is e ìre sruthadh CO 10%.

Tha an ìre sruth a’ dol bho 90 SCCM gu 110 SCCM, tha ìre sruth N2 a’ dol bho 90 SCCM gu 110 SCCM, agus ìre sruth Ar.

Is e an raon 90 SCCM ~ 110 SCCM, is e an raon cuideam 90 mtor ~ 110 mtor, agus tha an cumhachd bias

540 w - 660w.